Квазинепрерывный лазерный источник глубокого ультрафиолета реализует отечественную замену Россия

В связи с растущим внутренним спросом на высококачественные источники глубокого ультрафиолета в диапазонах 266 нм и ниже, иностранные импортные источники света, занимающие монопольное положение, сталкиваются с рисками закупок, и трудно обеспечить своевременность послепродажного обслуживания продукции. Отечественные смежные отрасли срочно нуждаются в высококачественных источниках глубокого ультрафиолета для достижения альтернативы локализации. В этом контексте RSLASER использует существующие оптические, механические, электрические, контрольные, измерительные и другие комплексные системы исследований и разработок для активного проведения научных исследований, преодоления ряда ключевых технических трудностей и создания высококачественных источников глубокого ультрафиолетового света с высокая стабильность и надежность. , Эта серия продуктов имеет полностью независимые права интеллектуальной собственности, которые могут обеспечить локализованную замену высококачественных источников глубокого ультрафиолетового света.

RSLASER выпустила множество продуктов в диапазоне глубокого ультрафиолета, в основном в диапазоне 213 нм и 266 нм, и разработала 4 зрелые модели, ширина импульса менее 10 пс, ширина спектральной линии менее 15 пм и частота повторения. в основном 1 МГц/70 МГц. Высококачественный источник света глубокого ультрафиолета, технические параметры которого сравниваются с импортной продукцией. Среди них высокочастотный и мощный твердотельный лазерный источник пикосекундного уровня в диапазоне 266 нм был успешно представлен на рынке, а коммерческие заказы были сформированы в индустрии контроля полупроводников и лазерной тонкой микрообработки. промышленность.

Из-за высокой однофотонной энергии лазеров глубокого ультрафиолета нелинейные кристаллы легко повреждаются, и обеспечение долгосрочной надежности является сложной задачей. Независимые исследования и разработки RSLASER, благодаря уникальному дизайну алгоритма контроля стабильности мощности с независимыми правами интеллектуальной собственности, автоматическому смещению точки, дизайну высокого качества луча, конструкции защиты продувочного фильтра и т. д. Он достиг мирового передового уровня: одноточечный срок службы может достигать непрерывной работы более 1000 часов, средняя среднеквадратическая мощность в течение 1000 часов составляет менее 0.5%, а качество луча M² составляет менее 1.2, что превосходит уровень аналогичных импортных продуктов.

В то же время RSLASER активно разрабатывает тот же тип мощного твердотельного лазерного источника света промышленного класса с более высокой частотой повторения 120 МГц и глубоким ультрафиолетом, а для реальных потребностей большего числа типов промышленных пользователей он разработал настраиваемый импульсный источник света. ширина 2–7 нс и настраиваемая частота 1 Гц–1 МГц. Исследование и разработка мощных твердотельных лазеров с длиной волны 266 нм. В настоящее время указанные модели прошли программную верификацию и технологическую отладку и находятся в процессе серийного производства. Вскоре они сформируют полочные продукты и выпустят их на рынок, предоставив отечественным промышленным пользователям больше выбора для высококачественных источников глубокого ультрафиолета.

С момента основания компании RSLASER проводила исследования и разработки в области квазинепрерывных твердотельных лазерных источников света в глубоком ультрафиолете. Компания располагает полной командой исследований, разработок и производства в области оптики, механики, электричества, управления, систем и интеграции. Это единственная компания в Китае, которая может предоставить клиентам длину волны 266 нм и ниже. Поставщик твердотельного лазерного источника света глубокого ультрафиолета с высокой частотой повторения и высокой мощности промышленного класса.

Компания уже много лет активно участвует в производстве промышленных лазеров глубокого ультрафиолета. Это единственная компания в Китае и третья компания в мире, которая занимается разработкой и индустриализацией всей цепочки эксимер-лазерной технологии литографии. Было зарегистрировано более 100 патентов и множество других основных компетенций. Имея профессиональную команду, он может предоставлять клиентам техническую поддержку в режиме реального времени, обеспечивать стабильную работу клиентского оборудования, обеспечивать качество продукции и соответствовать требованиям цикла доставки клиентов, а также обеспечивать экономические выгоды для клиентов.