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심자외선 준연속 레이저 소스로 국내 대체 실현

시간 : 2022-05-09 조회수 : 1

266nm 이하 대역의 고급 원자외선 광원에 대한 국내 수요가 증가함에 따라 독점 지위를 가진 외국 수입 광원은 조달 위험이 있으며 제품의 판매 후 적시성을 보장하기 어렵습니다. 국내 관련 산업에서는 국산화 대안을 달성하기 위해 고급 심자외선 광원이 시급히 필요합니다. 이러한 맥락에서 RSLASER는 기존의 광학, 기계, 전기, 제어, 측정 및 기타 완전한 R&D 시스템을 활용하여 과학 연구를 적극적으로 수행하고 여러 가지 핵심 핵심 기술적 어려움을 극복하며 고급 심자외선 광원 제품을 형성합니다. 높은 안정성과 신뢰성. , 이 시리즈 제품은 완전히 독립적인 지적 재산권을 보유하고 있어 고급 심자외선 광원의 국지적 교체를 실현할 수 있습니다.

RSLASER는 주로 213nm 대역과 266nm 대역의 심자외선 대역에서 다양한 제품을 출시했으며 4개의 성숙한 모델을 개발했습니다. 펄스 폭은 10ps 미만, 스펙트럼 선 폭은 15pm 미만, 반복 주파수는 주로 1MHz/70MHz입니다. 기술적 매개변수를 수입 제품과 비교하여 벤치마킹한 고급 심자외선 광원입니다. 그 중 266nm 대역의 고주파, 고출력 피코초급 고체 레이저 광원이 성공적으로 시장에 출시되었으며, 반도체 검사 산업 및 레이저 미세 미세 가공 분야에서 상업 주문이 형성되었습니다. 산업.

심자외선 레이저의 높은 단일 광자 에너지로 인해 비선형 결정은 쉽게 손상되며 장기적인 신뢰성을 보장하는 것이 어렵습니다. 독립적인 지적 재산권을 갖춘 전력 안정성 제어 알고리즘, 자동 포인트 이동, 하이빔 품질 설계, 퍼지 필터 보호 설계 등의 고유한 설계를 통해 RSLASER 독립적인 연구 개발이 세계의 고급 수준에 도달했습니다: 단일 포인트 수명은 1000시간 이상의 연속 작동을 달성할 수 있으며, 1000시간의 평균 전력 RMS는 0.5% 미만, 빔 품질 M²는 1.2 미만으로 유사한 수입 제품 수준을 능가합니다.

동시에 RSLASER는 동일한 유형의 더 높은 반복 주파수 120MHz 심자외선 고출력 산업용 고체 레이저 광원을 적극적으로 개발하고 있으며 더 많은 유형의 산업 사용자의 실제 요구에 맞춰 조정 가능한 펄스를 개발했습니다. 폭은 2~7ns이고 조정 가능한 주파수는 1Hz~1MHz입니다. 266nm 고출력 고체 레이저 연구 및 개발. 현재 위 모델들은 프로그램 검증과 공정 마무리를 완료하고 상용화 생산을 진행 중이다. 그들은 곧 선반 제품을 형성하여 시장에 출시하여 국내 산업 사용자에게 고급 심자외선 광원에 대한 더 많은 선택권을 제공할 것입니다.

RSLASER는 회사 설립 이후 심자외선 준연속 고체 레이저 광원에 대한 연구 개발 작업을 수행해 왔습니다. 광학, 기계, 전기, 제어, 시스템 및 통합 분야에서 완벽한 R&D 및 생산 팀을 보유하고 있습니다. 266nm 이하의 파장을 고객에게 제공할 수 있는 중국 내 유일한 회사입니다. 심자외선, 높은 반복 주파수, 고출력, 산업 등급, 고체 레이저 광원 공급업체입니다.

이 회사는 수년 동안 산업용 등급 원자외선 레이저 산업에 깊이 관여해 왔습니다. 리소그래피 엑시머 레이저 기술의 전체 체인을 개발하고 산업화하는 중국 유일의 회사이자 세계에서는 세 번째 회사입니다. 100개 이상의 특허와 기타 다양한 핵심 역량이 승인되었습니다. 전문 팀을 통해 고객에게 실시간 기술 지원을 제공하고, 고객 장비의 안정적인 작동을 보장하고, 제품 품질을 보장하고, 고객 배송 주기 요구 사항을 충족하고, 고객 경제적 이익을 에스코트할 수 있습니다.


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