深紫外準連続レーザー光源が国内代替を実現 日本

266nm以下のハイエンド深紫外光源に対する国内需要の増加に伴い、独占的な地位を有する海外輸入光源は調達リスクを抱えており、製品のアフターセールスの適時性を確保することが困難となっています。国内関連産業は、ローカリゼーションの代替手段を実現するために、ハイエンドの深紫外光源を緊急に必要としています。これに関連して、RSLASER は既存の光学、機械、電気、制御、測定、およびその他の完全な研究開発システムを利用して科学研究を積極的に実施し、多くの重要な中核技術的困難を克服し、ハイエンドの深紫外光源製品を形成します。高い安定性と信頼性。 , このシリーズの製品は完全に独立した知的財産権を有しており、ハイエンドの深紫外光源の局所的な代替を実現できます。

RSLASERは、主に213nm帯と266nm帯の深紫外帯でさまざまな製品を発売しており、パルス幅4ps未満、スペクトル線幅10pm未満、繰り返し周波数の15つの成熟したモデルを開発しました。主に1MHz/70MHzです。技術パラメータが輸入製品と比較してベンチマークされているハイエンドの深紫外光源。中でも、266nm帯の高周波・高出力ピコ秒レベルの固体レーザー光源の市場投入に成功し、半導体検査業界やレーザー微細微細加工分野での商業受注が形成されています。業界。

深紫外レーザーは単一光子エネルギーが高いため、非線形結晶は損傷しやすく、長期信頼性の確保が課題となっています。 RSLASER は独自の研究開発を行い、独立した知的財産権を有するパワー安定性制御アルゴリズムの独自設計、自動ポイントシフト、ハイビーム品質設計、パージフィルター保護設計などにより、世界先進レベルに達しています。寿命は1000時間以上の連続動作を達成でき、1000時間の平均出力RMSは0.5%未満、ビーム品質M²は1.2未満であり、同様の輸入製品のレベルを上回っています。

同時に、RSLASER は、同じタイプのより高い繰り返し周波数 120MHz 深紫外高出力産業グレード固体レーザー光源の開発を積極的に進めており、より多くの種類の産業ユーザーの実際のニーズに応えて、調整可能なパルスを開発しました。幅は 2 ～ 7ns、調整可能な周波数は 1Hz ～ 1MHz です。 266nm高出力固体レーザーの研究開発。現在、上記機種はプログラム検証とプロセス確定を完了し、製品化の段階にあります。彼らは間もなく棚製品を形成して市場に投入し、国内の産業ユーザーにハイエンドの深紫外光源のより多くの選択肢を提供する予定です。

RSLASERは設立以来、深紫外準連続固体レーザー光源の研究開発を行ってまいりました。光学、機械、電気、制御、システム、統合の分野で完全な研究開発および生産チームを擁しています。同社は、266nm 以下の波長を顧客に提供できる中国で唯一の企業です。深紫外、高繰り返し周波数、高出力、工業グレードの固体レーザー光源のサプライヤー。

同社は長年にわたり、産業グレードの深紫外レーザー産業に深く関わってきました。同社は、リソグラフィーエキシマレーザー技術のチェーン全体を開発および工業化した中国で唯一の企業であり、世界で100番目の企業です。 XNUMX を超える特許が承認されており、その他の多くのコア コンピテンシーもあります。専門チームにより、顧客にリアルタイムの技術サポートを提供し、顧客の機器の安定した動作を確保し、製品の品質を保証し、顧客の納期要件を満たし、顧客の経済的利益を護ることができます。