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La source laser quasi-continue à ultraviolet profond réalise un remplacement domestique

Heure: 2022-05-09 Visites: 1

Avec la demande intérieure croissante de sources de lumière ultraviolette profonde haut de gamme dans les bandes de 266 nm et inférieures, les sources de lumière importées étrangères en position de monopole présentent des risques d'approvisionnement et il est difficile de garantir la ponctualité après-vente des produits. Les industries liées au pays ont un besoin urgent de sources de lumière ultraviolette profonde haut de gamme pour trouver une alternative de localisation. Dans ce contexte, RSLASER utilise les systèmes optiques, mécaniques, électriques, de contrôle, de mesure et autres systèmes complets de R&D existants pour mener activement des recherches scientifiques, surmonter un certain nombre de difficultés techniques clés et former des produits de source de lumière ultraviolette profonde haut de gamme avec haute stabilité et fiabilité. , Cette série de produits dispose de droits de propriété intellectuelle totalement indépendants, qui peuvent réaliser le remplacement localisé des sources de lumière ultraviolette profonde haut de gamme.

RSLASER a lancé une variété de produits dans la bande ultraviolette profonde, principalement dans la bande 213 nm et la bande 266 nm, et a développé 4 modèles matures, la largeur d'impulsion est inférieure à 10 ps, la largeur de la raie spectrale est inférieure à 15 pm et la fréquence de répétition est principalement 1 MHz/70 MHz. Source de lumière ultraviolette profonde haut de gamme dont les paramètres techniques sont comparés à ceux des produits importés. Parmi eux, la source de lumière laser à semi-conducteurs de niveau picoseconde à haute fréquence et haute puissance dans la bande de 266 nm a été introduite avec succès sur le marché, et des commandes commerciales ont été formées dans l'industrie de l'inspection des semi-conducteurs et dans le micro-traitement laser fin. industrie.

En raison de l’énergie élevée d’un photon unique des lasers ultraviolets profonds, les cristaux non linéaires sont facilement endommagés et garantir une fiabilité à long terme constitue un défi. Recherche et développement indépendant de RSLASER, grâce à la conception unique de l'algorithme de contrôle de stabilité de puissance avec droits de propriété intellectuelle indépendants, changement de point automatique, conception de qualité des feux de route, conception de protection du filtre de purge, etc. Il a atteint le niveau avancé mondial : le point unique la durée de vie peut atteindre un fonctionnement continu de plus de 1000 1000 heures, la puissance moyenne RMS de 0.5 1.2 heures est inférieure à XNUMX % et la qualité du faisceau M² est inférieure à XNUMX, ce qui a dépassé le niveau des produits importés similaires.

Dans le même temps, RSLASER développe activement le même type de source de lumière laser à semi-conducteurs de qualité industrielle à ultraviolet profond de haute puissance à fréquence de répétition plus élevée de 120 MHz, et pour les besoins réels d'un plus grand nombre de types d'utilisateurs industriels, il a développé une impulsion réglable. largeur de 2-7ns et une fréquence accordable de 1Hz-1MHz. Recherche et développement de lasers à solide haute puissance 266 nm. À l'heure actuelle, les modèles ci-dessus ont terminé la vérification du programme et la finalisation du processus, et sont en cours de production commercialisée. Ils formeront bientôt des produits en rayon et les mettront sur le marché, offrant ainsi aux utilisateurs industriels nationaux davantage de choix en matière de sources de lumière ultraviolette profonde haut de gamme.

Depuis la création de l'entreprise, RSLASER a mené des travaux de recherche et développement sur des sources de lumière laser à semi-conducteurs quasi-continues à ultraviolet profond. Elle dispose d'une équipe complète de R&D et de production dans les domaines de l'optique, de la mécanique, de l'électricité, du contrôle, du système et de l'intégration. C'est la seule entreprise en Chine à pouvoir fournir à ses clients des longueurs d'onde inférieures ou égales à 266 nm. Un fournisseur de source de lumière laser à semi-conducteurs ultraviolet profond, haute fréquence de répétition, haute puissance, de qualité industrielle.

L'entreprise est profondément impliquée dans l'industrie des lasers ultraviolets profonds de qualité industrielle depuis de nombreuses années. C'est la seule entreprise en Chine et la troisième entreprise au monde à développer et industrialiser toute la chaîne de technologie laser excimer de lithographie. Plus de 100 brevets ont été autorisés et de nombreuses autres compétences de base. Avec une équipe professionnelle, il peut fournir aux clients un support technique en temps réel, assurer le fonctionnement stable des équipements du client, garantir la qualité des produits et répondre aux exigences du cycle de livraison du client, et accompagner les avantages économiques du client.


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