Quasi-kontinuierliche Laserquelle im tiefen Ultraviolett ermöglicht heimischen Ersatz

Angesichts der steigenden inländischen Nachfrage nach hochwertigen Lichtquellen im tiefen Ultraviolettbereich im 266-nm-Bereich und darunter bergen ausländische importierte Lichtquellen mit einer Monopolstellung Beschaffungsrisiken und es ist schwierig, die Pünktlichkeit der Produkte nach dem Verkauf sicherzustellen. Inländische Branchen benötigen dringend hochwertige Lichtquellen im tiefen Ultraviolett, um eine Lokalisierungsalternative zu erreichen. In diesem Zusammenhang nutzt RSLASER die vorhandenen optischen, mechanischen, elektrischen, Steuerungs-, Mess- und anderen kompletten F&E-Systeme, um aktiv wissenschaftliche Forschung durchzuführen, eine Reihe wichtiger technischer Kernschwierigkeiten zu überwinden und hochwertige Produkte für tiefe ultraviolette Lichtquellen zu entwickeln hohe Stabilität und Zuverlässigkeit. , Diese Produktserie verfügt über völlig unabhängige geistige Eigentumsrechte, die den lokalen Ersatz von High-End-Lichtquellen im tiefen Ultraviolett realisieren können.

RSLASER hat eine Vielzahl von Produkten im tiefen Ultraviolettband auf den Markt gebracht, hauptsächlich im 213-nm-Band und im 266-nm-Band, und 4 ausgereifte Modelle entwickelt, deren Pulsbreite weniger als 10 ps, ​​die Spektrallinienbreite weniger als 15 pm und die Wiederholungsfrequenz beträgt beträgt hauptsächlich 1 MHz/70 MHz. High-End-Lichtquelle für tiefes Ultraviolett, deren technische Parameter mit importierten Produkten verglichen werden. Unter anderem wurde die Hochfrequenz- und Hochleistungs-Festkörperlaserlichtquelle im Pikosekundenbereich im 266-nm-Band erfolgreich auf den Markt gebracht, und es wurden kommerzielle Aufträge in der Halbleiterinspektionsindustrie und der Laser-Feinmikrobearbeitung vergeben Industrie.

Aufgrund der hohen Einzelphotonenenergie von Lasern im tiefen Ultraviolett können nichtlineare Kristalle leicht beschädigt werden, und die Gewährleistung einer langfristigen Zuverlässigkeit ist eine Herausforderung. Unabhängige RSLASER-Forschung und -Entwicklung durch das einzigartige Design des Leistungsstabilitätskontrollalgorithmus mit unabhängigen Rechten an geistigem Eigentum, automatischer Punktverschiebung, Design mit hoher Strahlqualität, Design zum Schutz des Spülfilters usw. Es hat das weltweit fortschrittlichste Niveau erreicht: den Single-Point Die Lebensdauer kann einen Dauerbetrieb von mehr als 1000 Stunden erreichen, die durchschnittliche RMS-Leistung von 1000 Stunden beträgt weniger als 0.5 % und die Strahlqualität M² beträgt weniger als 1.2, was das Niveau ähnlicher importierter Produkte übersteigt.

Gleichzeitig entwickelt RSLASER aktiv den gleichen Typ einer Hochleistungs-Festkörperlaserlichtquelle in Industriequalität mit einer höheren Wiederholungsfrequenz von 120 MHz im tiefen Ultraviolett und hat einen abstimmbaren Impuls entwickelt, um den tatsächlichen Anforderungen weiterer Arten von Industrieanwendern gerecht zu werden Breite von 2–7 ns und eine einstellbare Frequenz von 1 Hz–1 MHz. Forschung und Entwicklung von 266-nm-Hochleistungs-Festkörperlasern. Derzeit haben die oben genannten Modelle die Programmüberprüfung und den Prozessabschluss abgeschlossen und befinden sich im Prozess der kommerziellen Produktion. Sie werden bald Fertigprodukte herstellen und diese auf den Markt bringen, um heimischen Industrieanwendern eine größere Auswahl an hochwertigen Lichtquellen im tiefen Ultraviolett zu bieten.

Seit der Gründung des Unternehmens führt RSLASER Forschungs- und Entwicklungsarbeiten an quasi-kontinuierlichen Festkörperlaserlichtquellen im tiefen Ultraviolett durch. Es verfügt über ein komplettes F&E- und Produktionsteam in den Bereichen Optik, Mechanik, Elektrizität, Steuerung, System und Integration. Es ist das einzige Unternehmen in China, das seinen Kunden Wellenlängen von 266 nm und darunter anbieten kann. Ein Lieferant von Festkörperlaserlichtquellen in Industriequalität mit hoher Wiederholfrequenz und hoher Leistung im tiefen Ultraviolettbereich.

Das Unternehmen engagiert sich seit vielen Jahren intensiv in der industriellen Tief-Ultraviolett-Laserindustrie. Es ist das einzige Unternehmen in China und das dritte Unternehmen weltweit, das die gesamte Kette der Lithographie-Excimer-Lasertechnologie entwickelt und industrialisiert. Mehr als 100 Patente wurden genehmigt und viele weitere Kernkompetenzen. Mit einem professionellen Team kann es den Kunden technischen Support in Echtzeit bieten, den stabilen Betrieb der Kundenausrüstung sicherstellen, die Produktqualität sicherstellen und die Anforderungen des Kundenlieferzyklus erfüllen sowie wirtschaftliche Vorteile für den Kunden schaffen.